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北京華卓精科科技股份有限公司成立于2012年5月9日,主營業務為集成電路制造裝備及關鍵零部件的研發和產業化。目前產品包括超精密運動平臺、激光退火設備、晶圓鍵合設備、晶圓傳輸系統、主被動隔振器、靜電卡盤、精密測量系統等整機設備及半導體關鍵零部件,主要應用于集成電路芯片制造、先進封裝、功率器件制造等產線,并在電子制造、激光加工等高端技術領域實現廣泛應用。

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  • 高端設備類產品

    高端設備類產品

    晶圓鍵合設備
    IGBT激光退火設備
    SiC激光退火設備
    EFEM / Sorter
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  • 超精密運動產品

    超精密運動產品

    主要面向:
    半導體、平板顯示、
    電子制造、激光、
    新能源、生物監測等行業
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  • 靜電卡盤

    靜電卡盤

    可吸附物體:絕緣體、半導體、導體
    工作環境:真空、等離子體、大氣
    吸附特點:柔性均勻吸附、不損傷工件
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  • 隔振產品

    隔振產品

    高性能空氣彈簧
    固有頻率可達2.5Hz,最高隔振效率達90%
    自動調節水平
    高精度水平閥,自動調節水平,使臺面輕松恢復水平狀態
    限位保護
    獨特的弓形限位保護裝置,確保平臺移動或工作中安全
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  • 制造中心

    制造中心

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銷售部:010-62780929

北京華卓精科科技股份有限公司
地址:北京市北京經濟技術開發區科創十街19號院
郵箱:info@u-precision.com
電話:010-87142599

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